干式羅茨真空泵吸氣級內(nèi)流動的瞬態(tài)模擬

　　基于動網(wǎng)格方法建立了干式真空泵羅茨型吸氣級的三維瞬態(tài)數(shù)值計算模型。模擬結果與抽速曲線對比，入口壓力為1000Pa時誤差為11.5%，100Pa時誤差為34.2%，表明計算流體力學(CFD)方法不適用于入口壓力較低及極限真空時真空泵內(nèi)的流動研究，但在入口壓力較高時具有較好的數(shù)值精度。

　　由于干式真空泵的主要設計問題多集中于入口壓力較高，負荷較大的運行工況，應用CFD方法研究干式真空泵的流動特性具有實用價值。文中計算了真空泵的性能參數(shù)，分析了泵腔內(nèi)的流動現(xiàn)象和流場的主要特征。

　　干式真空泵作為核心裝備廣泛應用于半導體產(chǎn)業(yè)、太陽能電池制造、化工、制藥等重要行業(yè)，其研發(fā)和生產(chǎn)越來越受到重視。干式真空泵有多種結構形式，其中主要有多級羅茨式、多級爪式、組合式(羅茨+爪型)和螺桿式等，抽氣過程中氣體的溫度和壓力存在復雜的變化。目前，除制造裝配要求精度高、加工難度大等制約因素外，設計理論也亟待提高，如轉(zhuǎn)子熱變形及對間隙的影響、空氣動性噪聲的產(chǎn)生與控制、顆粒物的抽除及在腔內(nèi)的運動等問題都值得深入分析，因此，對泵腔的流場進行研究具有重要意義。

　　近年來，計算流體力學(CFD，Computational Fluid Dynamics)發(fā)展迅速并被應用于流體機械內(nèi)部流場的研究。在真空技術領域也不斷有CFD的應用成果被報道，Boulon和Cheng等研究了復合分子泵Holweck排氣級和渦輪增壓泵內(nèi)的流動模擬問題；Wang等對不同運轉(zhuǎn)條件下蒸汽噴射泵的性能進行了數(shù)值計算，發(fā)布此是文以多級干式真空泵的羅茨型吸氣級泵腔為研究對象，基于CFD通用軟件ANSYS-CFX并采用動網(wǎng)格方法對泵內(nèi)的瞬態(tài)流動進行了數(shù)值計算，討論了CFD方法的適用性，分析了氣體的流動現(xiàn)象和流場分布，為進一步研究干式真空泵內(nèi)的物理過程和理論問題進行了有益的嘗試。

1、物理模型和數(shù)值模擬

　　1.1、物理模型

　　多級干式真空泵內(nèi)的流動狀態(tài)比較復雜，除粘滯流外，在直排大氣的排氣級可能出現(xiàn)湍流，而在壓力較低的吸氣級泵腔的狹小間隙內(nèi)，可能存在滑移流、過渡流甚至分子流態(tài)。氣體流態(tài)判別依據(jù)由分子平均自由程和幾何特征尺寸決定的克努森數(shù)Kn，通常CFD方法適用于分析湍流、粘滯流，在滑移流的模擬中也有成功的算例，而在Kn>011的過渡流或分子流時，由于Navier-Stokes方程基于的連續(xù)性假設不再成立，理論上不適用。在高真空稀薄氣體的模擬中主要采用直接蒙特卡羅(DSMC，Directsimulation Monte Carlo)方法，但隨著壓力升高，分子間碰撞頻率迅速增加需要巨大的計算資源支撐，計算效率較低。值得注意的是根據(jù)克努森數(shù)Kn選擇CFD或DSMC方法并沒有明確的界限。基于以下事實:

　　(1)多級干式真空泵中克努森數(shù)較大的分子流和過渡流zui可能出現(xiàn)在壓力較低的吸氣級泵腔間隙處，泵內(nèi)其它大部分流動空間Kn較小。

　　(2)由于吸氣通道流導較大，多級干式真空泵的吸氣級選擇羅茨型泵腔。

　　(3)多級干式真空泵泵腔幾何空間及容積變化過程復雜，整體建模存在一定困難。

　　本文采用CFD方法并以一實際干式羅茨真空泵的吸氣級泵腔為對象展開研究，其主要設計參數(shù)如表1所示。

表1 主要設計參數(shù)

　　根據(jù)以上數(shù)據(jù)，轉(zhuǎn)子與泵腔內(nèi)壁的設計間隙為0.25mm，轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子在軸心連線上的嚙合間隙為0.32mm。

　　1.2、動網(wǎng)格方法

　　羅茨轉(zhuǎn)子型線復雜，轉(zhuǎn)動時泵腔的容積和形狀不斷變化，需要采用動網(wǎng)格方法建立模型。CFX中直角坐標系下動網(wǎng)格的積分形式守恒方程為

　　式中，Q為流體密度；U為流體的速度；W為控制體邊界移動速度；Leff為包含湍流粘度的粘度系數(shù)；„eff為包含湍流擴散的擴散系數(shù)；U為標量，如單位質(zhì)量工質(zhì)的焓值或內(nèi)能；SU、SU為源項；dn為表面的外法向量；i，j代表直角坐標系中的坐標軸。動網(wǎng)格求解應滿足幾何守恒律